湖南萱洋伟业科技有限公司

• 在 0.2-30kV （HV30）、0.2-50kV （HV50） 或 20-100kV （HV100） 之间运行。
• 兼容超高真空 （UHV）。
• 工作压力：< 2 × 10⁻⁹ mbar。

• 扫描电子显微镜 （SEM） 作为 FEG 模块。
• 电子束光刻。
• TEM 应用 （HV100）。
• 俄歇电子能谱。
• 其他基于 UHV 的电子光学应用。
• 可通过激光注射为时间分辨应用进行配置。

        HV30 是一种使用 M20 微型模块阴极的 einzel 型镜头。它能够提供聚焦的电子束，随后可以通过磁柱或静电柱聚焦，以适应给定的应用。

• 阴极可更换，而不会干扰预对准，这是 YPS 设计独有的新颖特性和功能。
• 预对准的 einzel 透镜，具有提取器聚焦电极和接地电极。
• 高精度、静电设计的 FEG 包含五个电极：（i） 抑制器、（ii） 阴极、（iii） 提取器、（iv） 透镜和 （v） 阳极。
• 设计用于 YPS-M20 热场发射器“TFE”。
• 电子束可以聚焦到距接地电极的给定工作距离。
• 所有 FEG 都可以在密封的枪室（密封系统）中提供。

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