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        YPS 提供一系列高压场发射枪 (FEG),包括 30kV (HV30)、50kV (HV50) 和 100kV (HV100) 型号。它们由一系列单透镜和双透镜电子柱和相关电子元件组成,为 UHV 环境提供完整的高分辨率成像解决方案。
技术规格
  • 在 0.2-30kV (HV30)、0.2-50kV (HV50) 或 20-100kV (HV100) 之间运行。
  • 兼容超高真空 (UHV)。
  • 工作压力:< 2 × 10⁻⁹ mbar。
应用
  • 扫描电子显微镜 (SEM) 作为 FEG 模块。
  • 电子束光刻。
  • TEM 应用 (HV100)。
  • 俄歇电子能谱。
  • 其他基于 UHV 的电子光学应用。
  • 可通过激光注射为时间分辨应用进行配置。

        HV30 是一种使用 M20 微型模块阴极的 einzel 型镜头。它能够提供聚焦的电子束,随后可以通过磁柱或静电柱聚焦,以适应给定的应用。


特征
  • 阴极可更换,而不会干扰预对准,这是 YPS 设计独有的新颖特性和功能。
  • 预对准的 einzel 透镜,具有提取器聚焦电极和接地电极。
  • 高精度、静电设计的 FEG 包含五个电极:(i) 抑制器、(ii) 阴极、(iii) 提取器、(iv) 透镜和 (v) 阳极。
  • 设计用于 YPS-M20 热场发射器“TFE”。
  • 电子束可以聚焦到距接地电极的给定工作距离。
  • 所有 FEG 都可以在密封的枪室(密封系统)中提供。

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