YPS 肖特基热场发射 (TFE) ZrO/W(100) 源用途广泛,适用于各种电子束仪器,如 SEM、TEM、俄歇和 CD-SEM。这些高质量的 FE 源是传统 FEI 和 Denka 式源的经济型替代品。
YPS 源在 <100> 取向单晶钨丝上采用带有氧化锆的热场发射器 (TFE) 阴极,其特点是安装在发夹丝上的高精度尖端,以保持 1800K 左右的温度。
电子通过热激发和尖端和提取电极之间的电位差产生的电场发射,其放置在圆柱形抑制电极内有助于电子。
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