电子源性能表
提供电子源性能表是为了提供有关不同类型电子发射器的性能和要求的其他信息。钨阴极仍然用于许多SEM。使用LaB6阴极可以获得更好的结果。使用肖特基或冷场发射源可以实现最高分辨率、最高亮度和**低 kV 性能。
发射器类型 | 热离子 | 热离子 | 肖特基TFE | 冷场发射源 |
吸头图像比较 | 
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正极材料 | W | LaB6 | ZrO/W (100) | W (310) |
工作温度 (K) | 2700 | 1800 | 1800 | 300 |
阴极半径(nm) | 60,000 | 10,000 | <1000 | <100 |
有效源半径(μm) | 25 | 10 | 0.015 | 0.0025 |
发射电流密度 (A/cm2) | 3 | 30 | 5300 | 17,000 |
总发射电流 (μA) | 200 | 80 | 200 | 5 |
亮度 (A/cm2.sr.kV) | 1x104 | 1x105 | 1x107 | 2x107 |
**探头电流 (nA) | 1000 | 1000 | 10 | 0.2 |
能量扩散@阴极(ev) | 0.59 | 0.4 | 0.31 | 0.26 |
能量传播 @ 源出口 (eV) | 1.5 – 2.5 | 1.3 – 2.5 | 0.35 – 0.7 | 0.3 – 0.7 |
光束噪声 (%) | 1 | 1 | 1 | 5 – 10 |
发射电流漂移 (%/h) | 0.1 | 0.2 | <0.5 | 5 |
工作真空度(hPa/mbar) | <10-5 | <10-6 | <10-8 | <10-10 |
典型阴极寿命 (h) | 100 | >1000 | >5000 | >2000 |
阴极再生 (h) | 没有 | 没有 | 没有 | 6-12 |
对外部影响的敏感性 | 极小 | 低 | 低 | 高 |
稳定性 | 标准 | 高 | 非常高 | 低 |
X射线分析 | EDS / WDS | EDS / WDS | EDS / WDS | EDS |